改写半导体发展史　林本坚院士将任教清华大学

以浸润式微影技术改写全球半导体微影发展的台积电前研发副总经理、中研院院士林本坚，今年加入清华大学，担任讲座教授。林本坚说，除了专业知识外，他还要教学生如何“把心放上去”，解决未来将面对的各种难题。林本...

以浸润式微影技术改写全球半导体微影发展的台积电前研发副总经理、中研院院士林本坚，今年加入清华大学，担任讲座教授。林本坚说，除了专业知识外，他还要教学生如何“把心放上去”，解决未来将面对的各种难题。

林本坚去年底自台积电退休后，许多大学都纷纷登门拜访，希望能延揽半导体界的“国宝”。清华则早在去年中就已经透过“侯金堆讲座”极力争取林院士加入清华研究团队，终于获得他的首肯。

林本坚表示，他原规画退休之后，只做两件事，就是传福音及帮助人得到更丰富的生命，后来一想，教书也是帮助人得到丰富生命的好方法，“我在产业界服务了46年，学到很多，也希望能教给下一代。除了教导专业知识外，我更希望能激发学生创意，教导他们解决问题以及团队合作的能力。

“不管遇到什么问题，不能死守一种方法，要把心放上去，把问题解决。”林本坚说。过去半导体晶片制程主要采用干式曝光，以空气为镜头和晶圆之间的介质，使光罩上的图形在晶圆上成像，但为了增加解析度而要把光源的波长从193纳米缩短到157纳米的时候，一直无法突破。林本坚创全球之先提出的浸润式微影技术，则是以水为介质，在镜头和晶圆之间注入水，光的波长在水中缩短为134纳米，得以刻出更精密的晶片，这项创新也改写了半导体业十几年来的发展蓝图。

过去在业界时，林本坚就曾接触过许多清华毕业生，在他眼里，清华的学生深具学习精神，对研究特别积极。但他点出，学生在校常只为自己的成绩竞争，但出了社会，更要学习互助合作、为团队竞争，这也是他想教给清华学生的一项重要能力。

清华电机系主任徐硕鸿教授说，林本坚院士是改写半导体历史的巨擘，也是光学微影技术的先驱者，清华能够延揽到这位谦虚又乐意传授的国际人才任教，非常荣幸。

清华光电所长黄衍介指出，林本坚院士不仅曾在国际知识企业担任重要职务，也担任首届国际微影和微机电科学期刊总编辑，为学术及实务表现杰出之国际知名学者，以其深厚实务经验和学术实力，定会为清华的教学与研究带来助益。

清华光电所自林本坚加入研究团队后，已举办3场“林本坚院士学术沙龙”，邀请林本坚院士与清华教授讨论光电领域发展以及微影制程研究。林本坚院士表示，清华光电所教授们的研究题目有些让他很有兴趣，希望未来能与教授合作，协助教授研究发展。

林本坚曾任职于IBM在美国的研究中心，带领团队创造出许多领先全球的技术，包括1.25微米、1微米、0.75微米、0.5微米、0.35微米的微影技术。在IBM工作22年后，林本坚选择在美国自行创业将近10年。在台积电力邀下，林本坚于2000年加入台积电，并在2002年开始推动浸润式微影技术，此项技术对全球半导体产业及台积电先进制程贡献极大。他在台积电研发的期间带领团队从130纳米、做到90纳米、65纳米、40纳米、28纳米、20纳米、和16纳米，并开始研发10纳米、7纳米、和5纳米。

林本坚获奖无数，曾10度获美国IBM杰出发明奖、美国IBM杰出贡献奖、2008年当选美国国家工程学院院士，因浸润式微影技术的创新，获颁2013年国际电机电子工程师学会西泽润一奖、及2009 Cledo Brunetti 奖、2013工业研究院院士、2008 俄亥俄州立大学杰出校友、2004国际光学和光电学会(SPIE)的首届Frits Zernike奖、2004潘文渊文教基金会研究杰出奖、2003 IEEE会士、2003 SPIE 会士；2014年获选为中研院院士，为国内最高学术殿堂首位企业界院士。