促进国内真空产业再升级　仪科中心携手新莱应材、虎尾科大、中央大学合作 社会与法

产官学研合作增进国内产业竞争力再肇典范！国家实验研究院仪器科技研究中心与国内真空组件设备制造商新莱应材科技公司及虎尾科技大学、中央大学合作，获得科技部产学合作计划补助，共同开发“高洁净真空闸阀组件之微...

产官学研合作增进国内产业竞争力再肇典范！国家实验研究院仪器科技研究中心与国内真空组件设备制造商新莱应材科技公司及虎尾科技大学、中央大学合作，获得科技部产学合作计划补助，共同开发“高洁净真空闸阀组件之微粒检测系统”，提升国内产业设备及关键元组件自主化供应能力，增进国内产业竞争力。

真空技术在食品、机械、高科技产业皆有非常广泛的运用，许多重要设备都与真空技术息息相关。半导体产业平均每年在真空制程设备支出达千亿美元之谱，由此可见真空技术在半导体制程设备中扮演着举足轻重的角*。真空设备的高效能与稳定*攸关制程产品的品质与良率，也因此对于高洁净真空应用材料的品质要求日趋严格。

在真空设备中，“闸阀”为最重要的零组件，闸阀于作动时，所产生的微粒对于真空洁净度具有相当关键的影响。国内半导体产业已要求国内外设备商供应组件产品时，须一并提供作动时所产生之微粒污染评估。因应业界要求，新莱应材积极寻求仪科中心协助，并与虎尾科大、中央大学共同投入“高洁净真空闸阀组件之微粒检测系统”之研究。

本计划系由虎尾科技大学机械设计工程系周荣源教授进行检测系统设计，仪科中心与中央大学光电科学与工程学系陈升晖教授协助新莱应材建立检测标准流程，以及微粒尺寸及成份检测。本系统主要是针对真空闸阀作动时所产生的次微米微粒，进行监控与成份分析，即时测试各类真空闸阀所可能产生的微粒与污染源，透过数据收集来回馈产品设计端，协助厂商快速了解产品品质，作为改善依据。除此之外，仪科中心也以本身标准实验室的建置基础与真空系统技术，协助新莱应材建立该系统之特*量测与分析技术标准化，进而建立检验相关硬件设施之检验程序。

仪科中心于真空领域的发展已逾40余年，为我国真空技术研发的重镇。因应国家科技发展政策，以及协助产业升级之使命，积极投入仪器设备产业及关键元组件自主化供应之研究。本次合作结合产、学、研四单位研究能量，以国家级前瞻技术，建立产业界设备自制及自主研发能力；未来更可串联设备产业，带动上下游关键元组件在地化发展，并导入产业供应链，落实设备产业及关键元组件自主化供应的目标，促使台湾产业竞争力升级。